· 探针台整体位移分辨率 1.5μm,支持 XYZR 四维电动调节,配备加宽半圆形探针架
· 全系自带显微镜 XY 精密移动功能,可自选多种位移行程与驱动方式
· 搭载 24 寸 4K 显示器及万向支架,支持实时观测,可加装笔记本支架,收纳摆放便捷
· 配备多轴运动控制器与三通道手轮组,界面同步显示各轴参数,操作直观免切换;支持单轴独立、多轴联动及二次开发
· 适配手套箱场景操作使用
· 广泛应用于高校科研测试系统,涵盖材料电学、光电探测器响应、光电 Mapping、忆阻器与神经元等测试系统
产品结构包含
1.显微镜系统
高分辨率高倍率金相显微镜,物镜标配 2 X、5 X、10 X、20 X、50 X;放大倍数: 20 - 1000 倍,显微镜Z轴调焦结构行程50 . 8 mm;搭配2000 W像素CCD,可以拍照录像,可以插优盘,连接电脑实时监控带有HMDI 视频接口以及线缆,可以连接显示器实时;观测,匹配24 寸高清显示器,显示器万向调节;显微镜 XY行程25 mm* 25 mm,分辨率3 um/ 可升级为电动款
2.真空吸附卡盘
材质可选择不锈钢、镀金、铝合金、紫铜材质;可选尺寸为4 英寸、6 英寸、8 英寸、12 英寸;环形吸附样品,增加吸附力标准中心孔为1 mm直径,可以根据客户要求定制
3.真空吸附开关
单独的吸附孔道,独立的真空吸附开关
4.探针座
固定方式: 可调磁力吸附/ 真空吸附/ 螺丝固定安装;XYZ移动行程分别为13 mm, 60 °角度倾斜调节;精密线性移动,保证扎针,探针座精度标配3 um ( 针座可选配10 um、1 um、0 . 7 um或电动);管状探针夹具,线缆分为同轴线缆和三轴线缆,同轴线缆搭配( BNC/ 鳄鱼夹/ 香蕉插头/ N/ SMA等) ,三轴线缆搭配进口三同轴接口T RB
5.控制部分
模块式桌面式真空泵,集成日本进口真空泵, 7 L / min;高分辨率高扭矩五相步进电机, 10 轴运动控制器,匹配三通道运动手轮,它可以控制显微镜组、载玻片组、样品台组;操作起来比较直观,不用频繁切换。既可以独立的操作某一个轴, 也可以多个轴组合运动;含有上位机软件,可以支持咱们二次开发
6.探针放置平台
最多可以放置6 个DC针座, 4 个RF针座;加厚合金钢材质,保证固定针座的同时增加稳定性;表面镀铬处理,增加针座吸附力,保证测试精度;超高平面度,可以放置不同系列探针座
7.电动样品位移台
X- Y轴电动调节行程110 * 110 mm,位移精度+ 1 . 5 um;R轴360 °旋转( 粗调) ; + 5 °精密调节, Z轴行程10 mm; 运动控制器匹配五相步进电机,具备机械限位以及零位控制方式软件、运动手动组
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