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电动探针台是一种在半导体、光电等领域广泛应用的精密测试设备;通过电机驱动系统,实现探针台的X、Y、Z 轴等方向的精确移动和定位,使探针能够准确地对准样品上的测试点。当探针与样品接触后,可将样品的电信号传输到外部的测量仪器。配合的是五相步进电机,可以运动手轮操作,也可以软件操作,实现自动控制,该系列均采用高精度电动控制,非常适合手套箱集成的操控。目前已在多个科研实验室投入使用。
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